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Filmetrics, Inc. 創建於 1995 年的 Filmetrics, Inc. 以使薄膜測量變得簡單而經濟有效為其宗旨。 在我們進入這個市場之前,商業薄膜測量儀器動輒就要 $50,000 美元或更多,而且需要操作人員預先接受培訓。 單次測量就要花費幾分鐘,甚至幾小時時間。

Filmetrics 的方法就是設計經濟有效並為特定目的製造的微型光譜儀系統,而其低成本最近才由於硅探測器陣列技術的進步才得以實現。 我們把這一方法和先進的軟件相結合,我們的軟件能將先進的薄膜專門技術融入簡單而直觀的 Windows 界面。 其成果就是 F20,這是一種很緊湊的系統,具備令人驚異的速度和準確性,線上的操作人員只需要幾分鐘培訓即可使用儀器 – 而所有這一切只需傳統儀器幾分之一的成本。

 

我們提供連接到您基於 XP 或 Vista 計算機的全系列儀器,以及滿足您測量需求的可選附件。 

低成本的專用儀器
F10-AR 測量眼科鏡頭和其他彎曲表面的反射率。 我們可以提供測量硬塗層厚度和透射率的可選件。
F10-HC 測量硬塗層和防霧層厚度和折射率。 聚碳酸酯硬塗層在汽車和其他工業內的應用是很普遍的。
F10-PA 我們提供對聚對二甲苯厚度的免提測量。
F10-VC 可同時測量反射率和透射率。 我們可以提供測量厚度和折射率的可選件。 普遍應用於真空塗層領域。
具備完整分析能力的通用儀器
F20 應用於全世界數千種用途。 具有廣泛的附件和波長覆蓋範圍。
F20-XT在某些情況下,可以進行優化而用於較厚的薄膜 – 最厚可達 0.5mm
普遍使用於測量硅基薄化的領域。




在線監控儀器
F30 可在金屬有機化學氣相沉積系統、陰極濺鍍和其他沉積工藝中監控反射率、厚度和沉積率。
F37 聯機薄膜測量儀器,最多能支持七個探頭位置。
基於顯微鏡的測量儀器

F40 可固定到您的顯微鏡上來測量小至 2.5 um 點的厚度和折射率。
F42 完整的 2-D 厚度顯微測繪系統.
非圖案化表面的自動測繪

F50 為我們的 F20 家族產品增添自動測繪能力。 以每秒鐘 2 個點的快速測繪厚度和折射率。
F50-XY-
450
當樣品直徑大於 300mm時,可以用於測繪。
F60-t 生產就緒的台式測繪系統,包括板載參考值、凹槽檢測、互鎖覆蓋和更多。
圖案化半導體的自動測繪
F80-t生產就緒的台式 圖案化晶圓測繪系統,在 21 秒鐘內能測量 15 個點。
F80-c F80-t 的輸送盒至輸送盒版本。 支持達 300mm 的晶圓。
F80-a 配備集成晶圓輸送工具的自動晶圓測繪。 支持達 300mm 的晶圓。
 


易於使用而經濟有效地分析防反光塗層和鏡頭上的硬塗層


F10-AR 是為了簡便而經濟有效地測試眼科防反光塗層而設計的第一台儀器。 只需要花費當今所用大多數儀器一部分的成本就可以購得,它所包含的幾項獨家先進技術使線上操作人員在極短的時間內就能讀完使用手冊,並只需要幾分鐘的培訓就可以進行操作。

在用戶定義的任何波長範圍內都能進行/不進行最低、最高和平均反射測試。 

專門的算法能夠對硬塗層所產生的局部反射失真進行校正。  我們獨有的AutoBaseline 特性能極大地增加基線間隔而且和其他基於光纖探頭的反射儀器相比具有五倍高的精確度。 

利用我們可選的 UPG-F10-AR-HC 軟件升級能夠測量 0.25-15um 的硬塗層厚度。  即使在存在 AR 層的情況下也能對硬塗層厚度進行測量。

無須對塗層背面進行準備


我們獨一無二的探頭設計能抑制 1.5mm 厚基板 98% 的背面反射,並在使用更厚的鏡頭時能抑制得更多。

就像我們所有的台式儀器一樣,F10-AR 需要連接到您裝有 Windows 計算機的 USB 端口上並在數分鐘內即可完成設定。

F10-AR 包括測量所需的一切。

‧ 集成光譜儀/光源裝置
FILMeasure 5.0 軟件
CP-1-AR 探頭
BK-7 參考材料
‧ 操作手冊的複印件
‧ 連接電纜
備用燈
‧ 70mm 鏡頭的專用夾具
整平濾波器 (用於高反射基板)

普通的可選附件

膝上型電腦 預先加載FILMeasure 軟件
UPG-F10-AR-HC 硬塗層厚度測量升級軟件
透射測量升級軟件
攜帶箱

此外,每台 F10-AR 都具備這些 Filmetrics 的好處:

免費的軟件更新
‧ 應用工程師可立刻提供幫助 (太平洋時間上午 6 點 - 下午 6 點)
網上的「手把手」 支持 (需要連接互聯網)
‧ 硬件升級計劃

 


輕而易舉和經濟有效地分析單層和多層硬塗層


F10-HC 是以 Filmetrics F20 平台為基礎的,其光譜反射率數據分析能快速提供薄膜測量結果。 F10-HC 軟件先進的模擬算法是為了測量聚碳酸酯和其他硬塗層用途中所遇到的 單層和多層薄膜 (例如,底塗/硬塗層) 而專門設計的。

全世界共有數百台 F10-HC 儀器在工作,而幾乎每一家主要的汽車硬塗層公司都在使用它們。

就像我們所有的台式儀器一樣,F10-HC 需要連接到您裝有 Windows 計算機的 USB 端口上並在數分鐘內即可完成設定

 
             


F10-HC 包括測量所需的一切。
.

‧ 集成光譜儀/光源裝置
FILMeasure 5.0 軟件
CP-1 探頭
BK-7 參考材料
TS-Hardcoat -4um 厚度標準
‧ 操作手冊的複印件
‧ 連接電纜
備用燈
整平濾波器 (用於高反射基板)

普通的可選附件

膝上型電腦 預先加載FILMeasure 軟件
NIST-可追溯的厚度標準
攜帶箱

此外,每台 F10-HC 都包括這些 Filmetrics 的好處:

免費的軟件更新
‧ 應用工程師可立刻提供幫助 (太平洋時間上午 6 點 - 下午 6 點)
網上的「手把手」 支持 (需要連接互聯網)
‧ 硬件升級計劃

Filmetrics 是專門針對聚對二甲苯用途而設計F10-PA 的。 現在,從線上操作人員到研究開發人員都只要幾秒鐘就能測量聚對二甲苯的厚度。


任何人都能成為測量專家

我們獨家的AutoBaseline 功能可以大大縮短測量設置時間並能自動調整儀器敏感度。 使用免提測量模式,只需在平台上安置好您的樣品就能對厚度進行自動計算。 系統擁有在透明和不透明基板上測量聚對二甲苯所需的一切。

FILMeasure 軟件包括用於聚對二甲苯 C、N 和 HT 的光學常數 (n 和 k 值),以及直觀的測量結果顯示。 對於高級用戶而言,F10-PA 能夠被升級到測量更為廣泛的厚度範圍以及折射率。 在運行 Windows XP 或 Vista 的任何計算機上都可以安裝該軟件。 硬件的安裝是自動進行的,而首次測量在幾分鐘內即可進行,只需要一根將 F10-PA 系統連接到計算機上的 USB 電纜即可。

F10-PA 包括連接到您的計算機
和進行測量所需的一切。
‧ 集成光譜儀/光源裝置
FILMeasure 5.0 軟件
樣品平台帶有內置的光纖探頭
BK-7 參考材料
TS-聚對二甲苯-3um 厚度標準
‧ 操作手冊的複印件
‧ 連接電纜
備用燈

普通的可選附件

膝上型電腦 預先加載FILMeasure 軟件

此外,每台 F10-PA 都包括這些 Filmetrics 的好處:

免費的軟件更新
‧ 應用工程師可立刻提供幫助 (太平洋時間上午 6 點 - 下午 6 點)
網上的「手把手」 支持 (需要連接互聯網)


能同時測量反射和透射


以真空鍍膜機為理念進行設計,F10-VC 通過單擊鼠標即可獲得反射和透射光譜。 只需傳統系統價格的幾分之一即可,用戶們就能進行最低/最高分析、確定 FWHM 並進行顏色分析。 

可選的厚度和折射率求解模塊讓您能夠使用 Filmetrics F20 的所有分析能力。  系統很容易就能導出和打印數據以便快速分發。

和系統一起提供的有膝上型電腦以及 2 年擔保,使得 F10-VC 成為完整的交鑰匙產品包。

 

 
型號波長範圍厚度範圍*
F10-VC380-1050nm15nm – 50um
F10-VC-UV200-1100nm3nm – 50um
F10-VC-NIR950-1700nm100nm – um
F10-VC-EXR380-1700nm15nm – 100um
F10-VC 包括測量所需的一切。
‧ 集成光譜儀/光源/平台裝置
FILMeasure 5.0 軟件
BK7 參考材料
Al2O3 參考材料
Si 參考材料
防反光
‧ 操作手冊的複印件
‧ 連接電纜
備用燈
鏡頭紙
膝上型電腦 預先加載FILMeasure 軟件
‧ 兩年擔保

普通的可選附件

UPG-F10-VC-d 厚度測量 軟件升級
UPG-F10-VC-nk 反射率測量軟件升級

此外,每台 F10-VC 都包括這些 Filmetrics 的附帶好處:

免費的軟件更新
‧ 應用工程師可立刻提供幫助 (太平洋時間上午 6 點 - 下午 6 點)
網上的「手把手」 支持 (需要連接互聯網)
‧ 硬件升級計劃

F20 是我們的通用台式儀器。  它們在全世界被用於幾千種用途。  厚度和折射率在幾秒鐘內就能得到測量。 就像我們所有的台式儀器一樣,F20 需要連接到您裝有 Windows 計算機的 USB 端口上並在數分鐘內即可完成設定。

不同的 F20 儀器主要是根據波長範圍來加以區分的。  標準的 F20 是我們最為普遍的產品。  較短的波長 (例如, F20-UV) 一般用於測量較薄的薄膜,而較長的波長則可以用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

 




型號波長範圍厚度範圍*
F20380-1050nm15nm – 70um
F20-UV200-1100nm3nm – 70um
F20-NIR950-1700nm100nm – 250um
F20-EXR380-1700nm15nm – 250um
F20-UVX200-1700nm3nm – 250um

*詳見 F20 數據表

每種 F20 型號包括測量所需的一切。.
‧ 集成光譜儀/光源裝置
FILMeasure 5.0 軟件
SS-3 樣品平台 具備了多位聚焦功能
光纖電纜
參考材料
厚度標準
‧ 操作手冊的複印件
‧ 連接電纜
‧ FILMeasure 的獨立軟件 (用於遠程數據分析)
備用燈
‧ 鑷子
普通的可選附件

膝上型電腦 預先加載FILMeasure 軟件
NIST - 可追溯的厚度標準
攜帶箱
觸摸探頭

此外,每台 F20 都包括這些 Filmetrics 的好處:

‧每個系統都包括擁有 130 多種材料的資料庫
免費的軟件更新
‧ 應用工程師可立刻提供幫助 (太平洋時間上午 6 點 - 下午 6 點)
網上的「手把手」 支持 (需要連接互聯網)
‧ 硬件升級計劃

 


膜的測量厚度可以達到 500um


Filmetrics F20-XT 經過最佳化可以測量厚的薄膜。 要測量大於 50 微米的薄膜是一種獨特的挑戰,因為經常會遇到較厚的光學厚度 (光學厚度 = 物理厚度 x 反射率)。 有些薄膜,例如硅的膜,也會在厚於幾微米時,在可見光波長下變得不透明。

為克服這些挑戰,基於F20-NIR 平台的 F20-XT 內配置了一個 512 元素的砷化銦鎵光譜儀。
覆蓋了 1400-1650 nm 波長範圍的這個系統在近紅外區域內具有 0.5 nm 波長的分辨率,使其能夠比其他光學系統檢測更厚的薄膜。
就像我們所有的台式儀器一樣,F20-XT 需要連接到您裝有 Windows 計算機的 USB 端口上並在數分鐘內即可完成設定。

F20-XT 包括測量所需的一切。.
‧ 集成光譜儀/光源裝置
FILMeasure 5.0 軟件
SS-3 樣品平台 具備了多位聚焦功能
光纖電纜
參考材料
厚度標準
‧ 操作手冊的複印件
‧ 連接電纜
‧ FILMeasure 的獨立軟件 (用於遠程數據分析)
備用燈
‧ 鑷子

普通的可選附件

膝上型電腦 預先加載FILMeasure 軟件
NIST-可追溯的厚度標準
攜帶箱

此外,F20-XT 還包括這些 Filmetrics 的好處:

‧ 擁有130 多種材料的資料庫
免費的軟件更新
‧ 應用工程師可立刻提供幫助 (太平洋時間上午 6 點 - 下午 6 點)
網上的「手把手」 支持 (需要連接互聯網)
‧ 硬件升級計劃


監控薄膜沉積
最強有力的工具
用 F30 光譜反射率系統實時測量沉積率、沉積層厚度、光學常數 (n 和 k 值) 和半導體以及電介質層的均勻性。

樣品層

分子速外延和金屬有機化學氣相沉積: 可以測量平滑和半透明的,或者輕度吸收的薄膜。 這實際上包括從氮化鎵鋁直至鎵銦磷砷的任何半導體材料。

各項好處

 



  ‧ 極大地提高生產率
  ‧ 低成本 —幾個月就能回收其自身的成本
  ‧ 精確 — 測量精度高於 ±1%
  ‧ 快速 — 幾秒鐘完成測量
  ‧ 非侵入式 —
    測試完全在沉積室以外進行
  ‧ 易於使用 —
    直觀的 Windows™ 軟件
  ‧ 幾分鐘就能設定的交鑰匙系統


普通的可選附件
  ‧ 膝上型電腦 預先加載
    FILMeasure 軟件

  ‧ 鏡頭組件

 

用 F37 實時測量沉積率、沉積層厚度、光學常數 (n 和 k 值) 和半導體以及電介質層的均勻性。


樣品層

可以測量平滑和半透明的,或者輕度吸收的薄膜。 這實際上包括那些使用在薄膜光伏產品內的任何半導體材料。

各項好處


‧ 極大地提高生產率
‧ 低成本 — 幾個月就能回收其自身的成本
‧ 精確 — 測量精度高於 ±1%
‧ 快速 — 幾秒鐘完成測量
‧ 非侵入式 —
   測量完全在沉積室以外進行
‧ 易於使用 — 直觀的Windows™
  軟件
‧ 幾分鐘就能設定的交鑰匙系統

普通的可選附件

膝上型電腦 預先加載
   FILMeasure 軟件



將您的顯微鏡變成薄膜測量工具


F40 產品家族可以用於測量點尺寸小到 2.5 微米的用途。 對大多數顯微鏡而言,F40 簡單地固定於 c 型安裝架轉接器上,這是攝像機安裝的行業標準。

F40 完整地配備了集成彩色攝像機,能夠對測量點進行準確監控。 在 1 秒鐘之內就能測定厚度和折射率。 就像我們所有的台式儀器一樣,F40 需要連接到您裝有 Windows 計算機的 USB 端口上並在數分鐘內即可完成設定。

普通的用途

‧ 顯示器
‧ 血管支架的鈍化和藥物傳輸
   塗層
‧ 半導體

三種不同的 F40 型號,每種都覆蓋不同的波長範圍。  較長的波長一般用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。




型號波長範圍厚度範圍*
F40400-850nm20nm–20um
F40-NIR950-1700nm100nm–50um
F40-EXR400-1700nm20nm–50um

*詳見 F40 數據表

每種 F40 型號都包括測量所需的一切。
‧ 集成光譜儀/光源裝置
FILMeasure 5.0 軟件
MA-CMount帶有 c 型安裝夾具的顯微鏡轉接器
光纖插塞式電纜
BK7 參考材料
TS-Focus-Si02-4-10000 焦點/厚度標準
BG-顯微鏡 (用來獲取背景基線)
‧ 操作手冊的複印件
‧ 連接電纜
‧ FILMeasure 的獨立軟件 (用於遠程數據分析)
‧ 鑷子

普通的可選附件

膝上型電腦 預先加載FILMeasure 軟件
NIST- 可追溯的 厚度標準

此外,每台 F40 都包括這些 Filmetrics 的好處:

‧ 每個系統都包括擁有 130 多種材料的資料庫
免費的軟件更新
‧ 應用工程師可立刻提供幫助 (太平洋時間上午 6 點 - 下午 6 點)
網上的「手把手」 支持 (需要連接互聯網)
‧ 硬件升級計劃


顯微區域的高分辨率厚度測繪圖


Filmetrics F42 能夠繪製超過一百萬點的厚度測繪圖,每一點的測量面積可以小至 3 微米。  利用集成的 CCD 攝影機,實時視頻使其易於指明準確的測量點。  當被測要素置於視野以內後,只要在它周圍劃一個框進行分析即可。

以像素為寬度的測量點尺寸

對屏幕上每一單個像素進行厚度測量,產生的測量點尺寸可小至 3 微米。 這就使即便在溝槽和空洞最狹窄的地方也能進行測量。

測繪

利用 F42 系統的測繪能力就能檢查這些結構的均勻性。 只要點擊一次,就能計算超過一百萬個獨立的厚度並以易於閱讀的漸變測繪方式顯示出來。 平均厚度和其他統計結果都能得到自動計算,並能將所有超出範圍的厚度測量情況通知用戶。 利用擬合優度標準,就能在排除所有其他區域的同時對感興趣的要素進行測繪。


普通的用途

‧ 印刷電路板
‧ 半導體製造
‧ 液晶和有機發光二極管顯示器
型號波長範圍厚度範圍*
F42400-800nm35nm–3um
*詳見 F42 數據表


各種 F42 型號都包括測量所需的一切。

‧ 具備電動聚焦和標準 5x 物鏡鏡頭的測量平台
‧ 集成光源/控制裝置
FILMeasure 5.0 軟件
BK7 參考材料
TS-Focus-Si02-4-10000 焦點/厚度標準
‧ 操作手冊的複印件
‧ 連接電纜
‧ FILMeasure 的獨立軟件 (用於遠程數據分析)
‧ 鑷子

普通的可選附件

膝上型電腦 預先加載FILMeasure 軟件
SS-F42-XY-8 X-Y 平移平台
NIST - 可追溯的厚度標準

此外,每台 F42 都包括這些 Filmetrics 的好處:

‧ 擁有130 多種材料的資料庫
免費的軟件更新
‧ 應用工程師可立刻提供幫助 (太平洋時間上午 6 點 - 下午 6 點)
網上的「手把手」 支持 (需要連接互聯網)
‧ 硬件升級計劃

生產環境的自動測繪


Filmetrics F50 家族的產品能快到以每秒鐘測繪兩個點的速度測繪薄膜厚度。 電動的 R-Theta 平台可以接受標準的和定制的夾頭,以便用於直徑大到 300mm 的樣品。 測繪方式可以是極性、矩形或線性的,您也可以創造自己的方式而不受測量點數量的限制。 我們提供數十種預定義的測繪方式。
F50 台式系統需要連接到您裝有 Windows 計算機的 USB 端口上並在數分鐘內即可完成設定。

不同的 F50 儀器主要是根據波長範圍來加以區分的。 標準的 F50是最為普遍的產品。  一般較短的波長 (例如, F50-UV) 可用於測量較薄的薄膜,而較長的波長則可以用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

 




型號波長範圍厚度範圍*
F50380-1050nm15nm – 70um
F20-UV200-1100nm3nm – 70um
F20-NIR950-1700nm100nm – 250um
F20-EXR380-1700nm15nm – 250um
F20-UVX200-1700nm3nm – 250um
F20-XT1400-1650nm200nm – 450um
*詳見 F50 數據表


每種 F50 型號都包括以下列明的一切。 
請注意,樣品夾頭必須另行訂購:

‧ 集成平台/光譜儀/光源裝置(不含夾頭)
FILMeasure 5.0 軟件
光纖電纜
4」、6」 和 200mm 參考晶圓
TS-Si02-4-7200 厚度標準
‧ 真空泵
‧ 操作手冊的複印件
‧ 連接電纜
‧ FILMeasure 的獨立軟件 (用於遠程數據分析)
備用燈
‧ 鑷子

普通的可選附件

膝上型電腦 預先加載FILMeasure 軟件
NIST-可追溯的厚度標準
F50 夾頭 - 75mm、100mm、200mm 和 300mm
F50 小測量點選項,Vis 或 UV

此外,每台 F50 都包括這些 Filmetrics 的好處:

‧ 擁有130 多種材料的資料庫
免費的軟件更新
‧ 應用工程師可立刻提供幫助 (太平洋時間上午 6 點 - 下午 6 點)
網上的「手把手」 支持 (需要連接互聯網)
‧ 硬件升級計劃

生產環境的自動測繪


Filmetrics F60-t 家族就像我們的F50 產品一樣能測繪薄膜厚度和折射率,但它還包括許多可用於各種生產環境的特性。 這些特性包括自動凹槽檢測、自動板載基線確定、運動互鎖的內置測量平台、預裝軟件的工業計算機以及升級到全機器人化晶圓傳輸的選項。

不同的 F60-t 儀器主要是根據波長範圍來加以區分的。  較短的波長 (例如, F60-t-UV) 一般用於測量較薄的薄膜,而較長的波長則可以用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

 




型號波長範圍厚度範圍*
F60-t380-1050nm15nm – 70um
F60-t-UV200-1100nm3nm – 70um
F60-t-NIR950-1700nm100nm – 250um
F60-t-EXR380-1700nm15nm – 250um
F60-t-UVX200-1700nm3nm – 250um
F60-t-XT1400-1650nm200nm – 450um
*詳見 F60 數據表


每種 F60-t 型號都包括以下列明的一切。 
請注意,樣品夾頭必須另行訂購:

‧ 集成平台/光譜儀/光源裝置(不含夾頭)
‧ 預裝FILMeasure 5.0 軟件的工業計算機
4」、6」 和 200mm 參考晶圓
TS-Si02-4-7200 厚度標準
‧ 真空泵
‧ 操作手冊的複印件
‧ 連接電纜
FILMeasure 的獨立軟件 (用於遠程數據分析)
備用燈
‧ 鑷子

普通的可選附件

F60 夾頭 - 200mm、300mm
NIST - 可追溯的厚度標準

此外,每台 F60-t 都包括這些 Filmetrics 的好處:

‧ 擁有130 多種材料的資料庫
免費的軟件更新
‧ 應用工程師可立刻提供幫助 (太平洋時間上午 6 點 - 下午 6 點)
網上的「手把手」 支持 (需要連接互聯網)
‧ 硬件升級計劃

產品-晶圓的計量方法現在已經不太昂貴了


工藝工程師們都希望能快速測量薄膜厚度而且避免大量麻煩。 我們創新的 Thickness ImagingTM 測量技術使 Filmetrics 能夠提供簡易的配方設定、行業領先的生產能力以及僅需競爭對手計量工具幾分之一的成本。

和只能在單個點上測量厚度的普通計量工具不同,F80 能夠通過在靠近測量區的地方收集數千個厚度讀數而快速產生厚度圖像。

這一革命性創新方法的成果就是...

 

‧ 超快速測量  -
    快到能在 21 秒鐘內測量 15 個點
‧ 出眾的使用便利性
‧ 更加可靠耐用的自動化
‧ 比競爭者更低的成本

該系統有不同的配置方式,從低成本、手動加載台式系統到 BOLTS 集成計量模塊以及完全自動化的獨立輸送盒至輸送盒系統。
如果您正在尋找新一代厚度計量技術的話,那麼,有了 Filmetrics F80 您就不必再到處尋覓了。 F80 就是化學機械研磨、化學氣相沉積、物理機械研磨和晶圓軌道工藝工程師們夢寐以求的工具。


產品-晶圓的計量方法現在已經不太昂貴了


工藝工程師們都希望能快速測量薄膜厚度而且避免大量麻煩。 我們創新的 Thickness ImagingTM 測量技術使 Filmetrics 能夠提供簡易的配方設定、行業領先的生產能力以及僅需競爭對手計量工具幾分之一的成本。
和只能在單個點上測量厚度的普通計量工具不同,F80 能夠通過在靠近測量區的地方收集數千個厚度讀數而快速產生厚度圖像。 這一革命性創新方法的成果就是...

 

‧ 超快速測量  -
  快到能在 21 秒鐘內測量 15 個點
‧ 出眾的使用便利性
‧ 更加可靠耐用的自動化
‧ 比競爭者更低的成本

該系統有不同的配置方式,從低成本、手動加載台式系統到 BOLTS 集成計量模塊以及完全自動化的獨立輸送盒至輸送盒系統。
如果您正在尋找新一代厚度計量技術的話,那麼,有了 Filmetrics F80 您就不必再到處尋覓了。 F80 就是化學機械研磨、化學氣相沉積、物理機械研磨和晶圓軌道工藝工程師們夢寐以求的工具。


將產品-晶圓計量和晶圓輸送集於一身而不太昂貴的工具

通過和 Ricmar 的合作而獨家擁有的 F80-a 將完整的 F80 功能和 Ricmar 的 WTT 300 晶圓輸送工具整合在一起。 其成果是在單個不太昂貴的 EFEM 平台上就能達到具備雙重目的的功能。 點擊這裡在 Ricmar 的網站上閱讀更多關於 F80-a 的信息。