失效分析 FA / QA

- 精密切割機 / 研磨拋光機 / 真空鑲嵌系統

- SEM樣品準備

- 金 / 碳鍍膜機 (配合SEM使用)

- 探針台

- 全自動塑封料元器件開蓋機

- 激光開封設備 (化學/激光開封, 濕法去層)

- 反應式離子蝕刻(RIEs)機及SEM機

- 萬用機械性能測試儀

- 超聲波掃瞄顯微鏡

- 高分辨率X射線實時呈像儀, CT斷層掃瞄儀

IC測試

- IC測試座

- 數模混合芯片測試系統

- 硬接頭,按口及操控手臂

- 接觸組件清潔及再生服務(半導體測試)

- 轉塔式測試機

量測儀器

- 熱變形外貌檢測儀

- 原子力顯微鏡 (AFMs) / 共聚焦顯微鏡

- 輪廓儀 / 台階儀

- 四點探針測量儀

- 芯片檢測系統

- 光學薄膜厚度 / (n) 及 (k)量度儀

- 光學非接觸薄睽特性量測儀 (可用於薄膜應力,粘附力, 厚度以及暗電流等測量)

- 芯片厚度量測儀

- 晶片量測系統 (厚度量測 / 表面行貌量測)

可靠性測試

- 老化測試機及老化測試板

- Galden冷熱測試液

- Galden裂縫測試液

- 離心機

- 裂縫測試儀

- 老化板上/下料機

粘合機

- 晶圓粘合機

引線框處理

- 紫外線臭氧清洗機

- 微波/射頻等離子清洗系統

銅線

- 鍵合銅線

清模液

RBS-88

- 清模液