光学光电与太阳能光伏
晶圆制造
光电及太阳能光伏产品
IC封装与测试
黄光/涂布
- 光刻胶干膜 (TDFS)
- 免光罩嚗光机
- 纳米压印光刻技术及压印模板
- 嚗光机 (Mask Aligners) / 掩模机
- 涂胶机
- 热板
量测仪器/检测系统
- 原子力显微镜 (AFMs) / 共聚焦显微镜
- 轮廓仪 / 台阶仪
- 四点探针测量仪
- 芯片检测系统
- 光学薄膜厚度 / (n) 及 (k)量度仪
- 光学非接触薄膜特性量测仪(可用于薄膜应力, 粘附力,厚度以及暗电流等测量);芯片厚度量测仪
- 晶片量测系统 (厚度量测 / 表面行貌量测)
- LED光亮度检测光谱仪
- 超声波扫描显微镜(用于晶圆粘合程度检测)
光刻胶
- 光刻胶 (包括剥离工艺, MEMS, E-beam光刻, 化合物半导体)
真空镀模
- 高纯度磁控溅射靶及蒸镀物料
- 蒸镀及溅镀系统
- 高速微波等离子去除SU-8系统
- 物理沉移系统工程(PECVDs)
- 反应式离子蚀刻机 (RIEs)
- 原子层化学气相沉系统(ALDs)
粘合机
- 晶圆粘合机
机板/衬底
- 紫外线臭氧清洗机
如对上述产品有任何疑问,请与我们香港或其他地区办事处联络,本公司职员定当尽力解答阁下之查询。
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